
随着5G通信、雷达系统和电力电子设备的快速发展,传统硅基半导体器件已逐渐难以满足高频、高功率、高效率的需求。在此背景下,氮化镓(GaN)高电子迁移率晶体管(HEMT)应运而生,成为新一代功率电子器件的核心技术之一。
GaN HEMT是一种基于氮化镓材料的场效应晶体管,其核心优势在于其优异的宽带隙特性(约3.4 eV)和高电子迁移率。在器件结构中,通常采用AlGaN/GaN异质结,形成二维电子气(2DEG)通道。该2DEG具有高密度和高迁移率的载流子,使得器件具备极低的导通电阻和快速的开关速度。
二维电子气(2DEG)是GaN HEMT性能卓越的核心。由于AlGaN层与GaN层之间的极化效应,产生自建电场,从而在界面处积累大量自由电子,形成高浓度的2DEG。这一现象无需掺杂即可实现高导电性,极大提升了器件的电流承载能力与频率响应。
尽管GaN HEMT优势明显,但仍面临挑战,如成本较高、晶圆制备难度大、可靠性测试不足等。未来研究将聚焦于:
• 降低外延生长缺陷密度;
• 开发更稳定的栅极结构(如SiN钝化层);
• 推动大规模商业化生产。
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